3）企业刻蚀设备及联系关系营业的研发投入/产物和手艺立异/天分能力及专利获得等图表63：中微半导体设备（上海）股份无限公司 刻蚀设备及联系关系营业的好坏势阐发图表25：2018-2025年中国半导体设备市场规模阐发（单元：亿美元，